1、降低接口溫度、離子源溫度、四極桿溫度（以四極桿質(zhì)譜儀為例），關(guān)閉質(zhì)譜儀電源。　　2、打開(kāi)卸壓閥，緩慢卸壓到常壓。　　3、打開(kāi)離子源艙門(mén)（此步驟開(kāi)始***好佩帶口罩以及不掉毛手套）。　　4、使用專用工具按照拆卸步驟將離子源整體取出放置在的清洗臺(tái)面。　　5、使用專用工具將離子源各部件一一拆開(kāi)，分類(lèi)整齊放置在清洗臺(tái)面，不需要拋光打磨的部件（如加熱快、絕緣體等）分開(kāi)放置。（此后可脫掉手套）　　6、將**量的專用氧化鋁粉放入100ml燒杯中，加入甲醇，剛好覆蓋為好。　　7、使用專用棉簽蘸上濕潤(rùn)的氧化鋁粉輕輕打磨推斥極、離子源體、透鏡等金屬部件，直至光亮為止，注意不要過(guò)于用力造成部件表面出現(xiàn)明顯劃痕。　　8、可先使用自來(lái)水沖洗打磨部件，再使用甲醇將氧化鋁粉充分沖洗干凈。　　9、將離子源所有部件（除了燈絲、加熱電纜等外）放置于適當(dāng)燒杯中，加入甲醇蓋過(guò)，超聲5~10分鐘。　　10、超聲后換一個(gè)燒杯放置部件，然后在烘箱中70度烘烤30分鐘，待**干燥后冷卻至室溫。　　11、（佩帶潔凈不起毛手套）將干燥并冷卻后的部件放置到一塊新的潔凈無(wú)紡布上面，分類(lèi)放置。　　12、使用專用工具將各部將一一組裝起來(lái)。　　13、將組裝好的離子源安裝到質(zhì)譜儀上。